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测量真空泵漏率的方法
日期:[2019/8/28 15:42:55]   共阅[148]次
  测量真空泵漏率的主要目的是为了能及时判断泵是否存在一定的泄漏,因为泵对密封性要求严格,所以测量泵的漏率还能检测出它的密封性能究竟如何。那么如何测量泵的漏率,主要有这几种方法:
  1、加压条件下容器漏率的测定
  方法有:气泡法、气敏半导体检漏仪法、卤素检漏仪法、氨检漏法、超声法、氮质谱检漏仪法等。
  2、真空条件下容器漏率的测定
  (1)可以选用流盆测量、压力测量、卤素检漏仪以及氮质谱检漏仪等方法来测真空泵的全漏率。
  (2)利用真空容器的真空规、离子泵及残气分析质谱计来测定容器的漏率。
  3、密封件的无损检漏
  (1)尽量利用密封件上可用来指示密封器件内部压力和示漏物质分压力的规管和残气分析质谱计等进行检漏。
  (2)如果密封件内部具有可作为示漏的物质时,采用动态法或静态法对漏到真空泵外面的示漏物质进行检测,即可测出漏孔。这类密封件内部的示漏气体的分压力要比采用背压法时的压力为高。
  (3)有些原来不是测量压力的装置,将其电极接成电离规的方式,测全出管内离子流的变化,便可知管内压力的变化率。大批量生产这类器件时,可以通过校准的方法把离子流的变化率直接换算成漏率。
  (4)背压法检漏适用于成批生产小型密封件时的检漏。
  上面介绍的几种方法和测量真空泵漏率有关,在测量过程中应当选择合适的测量仪器外加合适的测量方法对泵的漏率做出详细检测,及时检修,方便泵的使用。
  小编:Jane
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